SK하이닉스, 12조원 규모 EUV 장비 도입…선단 공정 전환 가속화

시간 입력 2026-03-24 16:33:27 시간 수정 2026-03-24 16:33:27
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네덜란드 ASML로부터 EUV 스캐너 도입

SK하이닉스 이천캠퍼스. <사진=SK하이닉스>

SK하이닉스가 12조원 규모의 EUV(극자외선) 장비를 도입하며 선단 공정 전환에 속도를 낸다.

SK하이닉스는 네덜란드 반도체 장비 업체 ASML로부터 EUV 스캐너를 도입하기로 결정했다고 24일 공시했다. 


해당 장비 취득가액은 11조9497억원에 달한다. 이는 2024년 말 기준 자산총액 119조8552억원의 9.97%에 해당하는 수치다.


SK는 EUV 스캐너를 2027년 12월까지 약 2년에 걸쳐 취득할 예정이다.

이번 투자는 HBM(고대역폭메모리)을 포함한 AI(인공지능) 메모리 수요 확대에 대응하기 위해 추진됐다. SK는 EUV 장비 도입을 통해 1c(10나노급 6세대) 공정 전환을 가속화하고, AI 메모리 제품 포트폴리오를 확대한다는 구상이다. 

SK하이닉스 관계자는 “차세대 공정 양산에 대응하기 위해 EUV 장비를 확보했다”고 설명했다.

[CEO스코어데일리 / 오창영 기자 / dongl@ceoscore.co.kr]

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