초음파 이용해 반도체 생산설비 가스 누출 시 0.5초 내 감지

오창영 기자
시간 입력 2025-08-05 14:07:39 시간 수정 2025-08-05 14:07:39
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화학물질안전원, 민간 업체와 초음파 감지기 개발
종류 가리지 않고 가스 감지 가능…시범 사업 돌입

환경부 화학물질안전원 오송청사. <사진=화학물질안전원>

반도체·디스플레이 등 첨단 생산 설비에서 누출된 가스를 초음파를 활용해 빠르게 감지할 수 있는 제품이 개발됐다.


환경부 화학물질안전원은 이달 6일부터 자체 개발한 ‘신속 누출 탐지 및 차단 기술’이 탑재된 가스 공급 설비 시범 사업을 벌인다고 5일 밝혔다.


반도체·디스플레이 업종은 제조 공정 상 독성 물질과 인화성 물질을 많이 사용한다. 이에 가스 누출을 신속히 파악해야 할 필요성이 크다.


현재 반도체 가스 공급 설비에 설치되는 ‘전기 화학 가스 감지기’의 경우, 누출된 가스가 흡입관에 들어와야 감지할 수 있다. 이에 흡입관 길이만큼 감지에 걸리는 시간이 늘어난다.

이같은 문제를 해소하기 위해 안전원은 에스엠인스트루먼트와 손잡고 올해 6월 초음파 감지기를 개발했다.


해당 초음파 감지기는 초음파를 활용해 가스 누출을 0.5초 내에 감지할 수 있어 감지에 걸리는 시간을 대폭 줄인 것이 특징이다. 또 어떤 가스든 종류를 가리지 않고 감지할 수 있다.


일례로 이번에 개발한 초음파 감지기를 사용하면 염화수소 공급 설비 기준으로 가스 누출 시 피해 범위가 기존 감지기(517ｍ) 절반 수준인 264ｍ로 줄어든다.


안전원은 시범 사업 효과를 분석해 국내 반도체·디스플레이 업체에 초음파 감지기를 적극적으로 홍보하는 한편 가스 공급 설비 국제 표준에 반영될 수 있도록 관련기관과 협의할 계획이다.

[CEO스코어데일리 / 오창영 기자 / dongl@ceoscore.co.kr]

무단 전재-재배포 금지> 2025-08-05 14:07:39 송고

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